Modular Nanoimprint Lithography Platform

面向多应用场景的模块化纳米压印光刻平台

Portis 平台为工业化制造而构建,由 Coater C1100、Imprint NIL600 / NIL1100 与 Primer P1100 等模块组成,可根据不同生产要求灵活配置和扩展,并平滑接入高产能制造环境。

Portis 设备平台

Portis

面向多应用场景的模块化工业平台

01

模块化设备配置

02

前处理与后处理兼容

03

多基材微纳结构复制

04

试产到量产扩展

Manufacturing Platform

把设备模块连接成可导入的量产架构

基材与上料

适配多类刚性与柔性基材,并支持工业级上下料。

涂布模块

C1100 涂布机支持不同材料粘度与工艺窗口。

NIL 模块

NIL600 / NIL1100 可按尺寸与应用需求灵活配置。

模块化扩展

独立灵活架构支持新增、升级或调整模块。

Brochure Highlights

设备图片与应用场景

结合设备资料中的平台示意、应用图片和现场图,帮助客户快速判断设备形态、目标应用和制造环境。

Portis brochure

Key Specifications

关键参数

基板尺寸最大支持 5 代线,1100 × 1300 mm²
基板厚度0.5 - 10 mm
基板材料玻璃、聚合物、金属等刚性与柔性材料
可加工结构尺寸50 nm 至 500 μm
节拍时间最快 < 5 分钟
粘度范围搭配 C1100 涂布机,支持 5 - 1500 mPaS 粘度范围
可配置模块Portis 1100 / Portis NIL600 / Portis NIL1100 / Portis C1100 / Portis P1100

Equipment Assessment

评估这类设备是否适合你的量产路线

围绕应用、基材、结构尺寸、目标产能和导入阶段,魔飞光电中国团队可协助判断设备配置与工艺路径。

联系中国团队